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Disk and plug 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • C23C-015/00
출원번호 US-0798554 (1985-11-15)
발명자 / 주소
  • Allen Ronald (San Jose CA) Chen Tu (Saratoga CA)
출원인 / 주소
  • Komag, Inc. (Milpitas CA 02)
인용정보 피인용 횟수 : 7  인용 특허 : 7

초록

A carrier is provided to hold a central apertured disk while magnetic material is plated simultaneously on the annular surfaces on both sides of the disk. The carrier contains a first opening substantially the same diameter as the disk and a second opening formed about a center line offset from the

대표청구항

In combination, a circular flat computer disk having a central aperture and an aperture-closing plug, said plug comprising: first and second imperforate plug portions; each of said plug portions having a circular peripheral edge portion abutting said sealing-off entry to said disk central aperture a

이 특허에 인용된 특허 (7)

  1. Faretra Ronald A. (Melrose MA), Apparatus for mechanically clamping semiconductor wafer against pliable thermally conductive surface.
  2. Boys Donald R. (Cupertino CA) Graves Walter E. (San Jose CA), Disk or wafer handling and coating system.
  3. Aoki Yoshihiro (2-9-16 Hanahata ; Adachi-ku ; Tokyo JPX 121), Magnet clasp.
  4. Eyster Charles G. (York PA) Bissell Holbrook C. (West Chester PA), Releasable locking means for closure caps.
  5. Kawaguchi Tatsuzo (Yokohama JPX) Koyama Mitsutoshi (Koganei JPX), Sputtering target supporting device.
  6. Graves, Jr., Walter E., Substrate and substrate holder.
  7. Dean Robert E. (High Bridge NJ) Fink James L. (Millburn NJ), Wafer holding apparatus and method.

이 특허를 인용한 특허 (7)

  1. Akagawa Minoru (Fremont CA) Naoi Satoshi (Fremont CA) Fukumoto Heijiro (San Francisco CA), Disk carrier.
  2. McLeod Paul Stephen, Method and apparatus for metal allot sputtering.
  3. Cuyler,Brian B.; Womack,Darren; Dumbleton,Richard; Bradley,Blaine, Method of manufacturing a truck bed liner with a reusable masking device.
  4. Gephart, John; Lugen, Richard, Self-centering magnetic masking system.
  5. Wilkinson Thomas F. (Garland TX), Semiconductor wafer carrier design.
  6. Nozawa Naoyuki,JPX ; Hasegawa Yoshiro,JPX, Substrate holder.
  7. Takaki Kurita,JPX ; Nozawa Naoyuki,JPX ; Hasegawa Yoshiro,JPX, Substrate holder for reducing non-uniform film characteristics resulting from support structures.
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