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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0792729 (1985-10-30) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 50 인용 특허 : 7 |
A system and method for forming a uniform layer of a material from a vapor phase onto the surface of an object at a high rate of deposition includes a heated reservoir for vaporizing the material to be deposited, a reactor containing the objects to be coated, and a vacuum device for flowing the gase
A system for forming a layer of a material upon a surface from a gas comprising: a reservoir for heating a material from which said gas is propagated; a low pressure reactor wherein said layer is formed; connecting means between said reservoir and said reactor; means connected to the outlet of said
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