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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0193876 (1980-10-03) |
발명자 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 21 인용 특허 : 5 |
A mass flow controller is disclosed herein having a bridge with a pair of arms positioned in good heat transfer relation with a gas stream, the flow rate of which is to be controlled and energized by a constant current generator wherein a resistance difference due to differential cooling by the gas
A mass flow controller comprising thermal resistance sensing means producing a sensor signal indicative of a rate of flow of a gas, an amplifier receiving and amplifying said sensor signal to provide an amplified signal, a linear signal conditioner having at least one operational amplifier precision
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