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Mass flow controller

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G05D-007/06
출원번호 US-0193876 (1980-10-03)
발명자 / 주소
  • Doyle James H. (2003 Ivy Hill La. Orange CA 92667 4)
인용정보 피인용 횟수 : 21  인용 특허 : 5

초록

A mass flow controller is disclosed herein having a bridge with a pair of arms positioned in good heat transfer relation with a gas stream, the flow rate of which is to be controlled and energized by a constant current generator wherein a resistance difference due to differential cooling by the gas

대표청구항

A mass flow controller comprising thermal resistance sensing means producing a sensor signal indicative of a rate of flow of a gas, an amplifier receiving and amplifying said sensor signal to provide an amplified signal, a linear signal conditioner having at least one operational amplifier precision

이 특허에 인용된 특허 (5)

  1. LeMay Dan B. (Palos Verdes Estates CA), Assembly and method of obtaining a controlled gas mixture.
  2. Harpster Joseph W. C. (Galena OH), Flow indicator.
  3. Blair Richard F. (Palos Verdes Peninsula CA), Mass flow meter with reduced attitude sensitivity.
  4. LeMay ; Dan B., Mass flow sensing system.
  5. LeMay Dan B. (Palos Verdes Estates CA), Mass flow sensor system.

이 특허를 인용한 특허 (21)

  1. Waller Michael V. (Newnan GA) Palance David M. (Milford NH), Electrically controlled variable pressure pneumatic circuit.
  2. Goto, Hiroomi; Inoue, Tsunehiro; Mori, Takahiro, Feedback control apparatus.
  3. Mayer Christopher R., Flowrate control sytem and method.
  4. Sittler Fred C. (Excelsior MN) Crabtree James H. (Long Beach CA), Fluid flow detector.
  5. Moore, Gary M., Gas flow controller system.
  6. Takahashi, Akito; Yoneda, Yutaka, Mass flow controller.
  7. Smirnov, Alexei V.; McDonald, R. Mike; Mauck, Justin, Mass flow controller having a first pair of thermal sensing elements opposing a second pair of thermal sensing elements.
  8. Zolock, Michael John; Ito, Hiroyuki, Method and apparatus for measuring the temperature of a gas in a mass flow controller.
  9. Tinsley,Kenneth E.; Tariq,Faisal, Method and system for a mass flow controller with reduced pressure sensitivity.
  10. McDonald, R. Mike, Method and system for operating a mass flow controller.
  11. Lull, John Michael; Wang, Chiun; Saggio, Jr., Joseph A., Methods and apparatus for pressure compensation in a mass flow controller.
  12. Lull,John Michael; Wang,Chiun; Saggio, Jr.,Joseph A., Methods and apparatus for pressure compensation in a mass flow controller.
  13. Lull,John Michael; Wang,Chiun; Saggio, Jr.,Joseph A., Methods and apparatus for pressure compensation in a mass flow controller.
  14. Lull,John Michael; Wang,Chiun; Saggio, Jr.,Joseph A., Methods and apparatus for pressure compensation in a mass flow controller.
  15. Henderson Richard C., Miniature pulsatile flow controller.
  16. Trescott, Robert, Non-invasive thermal dispersion flow meter with chronometric monitor for fluid leak detection.
  17. Niemel Mertsi (Kuusankoski FIX) Lehtola Raimo (Kouvola FIX) Kakkonen Kari (Kuusankoski FIX), Procedure and means for controlling volumetric flow rate in air-conditioning installations.
  18. Lull, John M.; Wang, Chiun; Valentine, William S.; Saggio, Jr., Joseph A., System and method for a mass flow controller.
  19. Lull,John M.; Wang,Chiun; Valentine,William S.; Saggio, Jr.,Joseph A., System and method for a mass flow controller.
  20. Lull,John M; Wang,Chiun; Valentine,William S; Saggio, Jr.,Joseph A, System and method for a mass flow controller.
  21. Lull,John M; Wang,Chiun; Valentine,William S; Saggio, Jr.,Joseph A, System and method for a mass flow controller.
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