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Accelerometer sensor with flat pendular structure 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01P-015/08
  • G01P-015/125
출원번호 US-0708923 (1985-03-06)
우선권정보 FR-0003441 (1984-03-06)
발명자 / 주소
  • Grard Marcillat (Chatellerault FRX)
출원인 / 주소
  • Societe Francaise d\Equipements pour la Navigation Aerienne (S.F.E.N.A.) (FRX 03)
인용정보 피인용 횟수 : 18  인용 특허 : 2

초록

An accelerometer sensor comprising a flat pendular structure having a fixed part and a flat test body suspended from the fixed part by two parallel blades flexible in the plane of said test body, so as to be able to move in translation along a sensitive axis. Said test body extends at least partiall

대표청구항

An accelerometer sensor comprising a flat pendular structure made from one and the same crystalline wafer, said structure having in a same plane, a flat fixed part, two parallel blades flexible in the said plane and delimiting therebetween a space, each of said blades having a first end portion fixe

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. Rudolf Felix (Cortaillod CHX), Accelerometer.
  2. Aske Vernon H. (Hopkins MN), Linear accelerometer with improved magnetic rebalance system.

이 특허를 인용한 특허 (18)

  1. Okada,Kazuhiro, Acceleration detector.
  2. Malvern, Alan R; Hopkin, Ian D; Townsend, Kevin; Derooij, Nicolaas F, Accelerometer.
  3. Malvern,Alan R; Venables,Mark A; DeRooij,Nicolass F, Accelerometer.
  4. Offenberg Michael (Tuebingen DEX), Accelerometer sensor of crystalline material and method for manufacturing the same.
  5. Washisu Koichi (Tokyo JPX), Accelerometer system.
  6. Boura Andr (Chatellerault FRX), Accelerometric sensor with plane pendulum structure.
  7. Yamaguchi Yasuo,JPX ; Otani Hiroshi,JPX, Capacitance acceleration sensor.
  8. Okada, Kazuhiro, Force detector and acceleration detector and method of manufacturing the same.
  9. Okada,Kazuhiro, Force detector and acceleration detector and method of manufacturing the same.
  10. Boura, André, Guiding blade for a proof mass and micromachined electromechanical system using such blade.
  11. Offenberg Michael,DEX, Method for manufacturing an accelerometer sensor of crystalline material.
  12. Tsang Robert W. K. (Bedford MA) Core Theresa A. (North Andover MA), Methods for fabricating monolithic device containing circuitry and suspended microstructure.
  13. Galvin Gregory J. ; Davis Timothy J. ; MacDonald Noel C., Microelectromechanical accelerometer for automotive applications.
  14. Galvin Gregory J. ; Davis Timothy J. ; MacDonald Noel C., Micromechanical accelerometer for automotive applications.
  15. MacDonald Noel C. ; Shaw Kevin A. ; Adams Scott G., Micromechanical accelerometer for automotive applications.
  16. Tsang Robert W. K. ; Core Theresa A. ; Sherman Steven J. ; Brokaw A. Paul, Monolithic micromechanical apparatus with suspended microstructure.
  17. Tsang Robert W. K. ; Core Theresa A. ; Sherman Steven J. ; Brokaw A. Paul, Monolithic micromechanical apparatus with suspended microstructure.
  18. Howe Roger T. ; Bart Stephen, Sensor with separate actuator and sense fingers.
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