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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0548516 (1983-11-03) |
우선권정보 | JP-0192462 (1982-11-04); JP-0192461 (1982-11-04); JP-0026156 (1983-02-21) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 36 인용 특허 : 2 |
The foreign particle detecting method and apparatus are disclosed wherein a polarized laser beam emitted by a laser beam irradiating system from a direction inclined with respect to the direction perpendicular to the surface of a substrate is used by a scanning means to linearly scan the substrate s
A foreign particle detecting method comprising the steps of: irradiating two halves of a substrate having a frame with a pellicle mounted thereon with a respective laser beam emitted by a laser beam irradiating means in a direction inclined with respect to the substrate surface and polarized thereaf
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