[특허]Calibration system for the calibration of mass flow controllers

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Calibration system for the calibration of mass flow controllers 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	G01F-025/00 G05D-007/00 G12B-013/00
출원번호	US-0842257 (1986-02-14)
우선권정보	FI-0002441 (1984-06-15)
국제출원번호	PCT/FI85/00053 (1985-06-14)
§371/§102 date	19860214 (19860214)
국제공개번호	WO-8600153 (1986-01-03)
발명자 / 주소	Kurki Jouko (Alkutie FIX) Sandvik rjan (Hulluksentie FIX) Nyrki-Mklin Tiina (Gresantie FIX)
출원인 / 주소	Oy Nokia AB (Helsinki FIX 03)
인용정보	피인용 횟수 : 11 인용 특허 : 6

초록 ▼

A calibration system for the calibration of mass flow controllers of an apparatus used for a chemical vapor phase growth, comprising at least one mass flow meter for measuring the characteristics of the mass flow controllers and a computer for calculating correction coefficients for the different controllers. The system preferably comprises at least one flow meter for measuring at least the adjoining ranges of the mass flow controllers covering adjacent flow ranges.

대표청구항 ▼

In a calibration system for the calibration of mass flow controllers of an apparatus used for a chemical vapor phase growth, said system including mass flow meters for measuring the mass flows through said mass flow controllers, and means for calculating and storing correction coefficients for the different controllers whereby linear characteristics can be obtained for said controllers, the improvement wherein at least one of said mass flow meters occupies a measuring range covering at least adjoining ranges of two said mass flow controllers covering adjacent flow ranges.

이 특허에 인용된 특허 (6)

Blair Richard F. (Fountain Valley CA) Beazley Ralph (Rancho Palos Verdes CA), Calibratable system for measuring fluid flow.
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Wilson ; Francis P. ; Purcell ; John E., Flow controller-flow sensor assembly for gas chromatographs and the like.
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Kompelien Arlon D. (South Richfield MN), Flow sensor with adjustable sensitivity.
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Boykin John C. (Dallas TX), Pipeline flow measurement proving system.
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Partus Fred P. (Cobbs County GA), Vapor delivery control system and method.
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McMenamin Joseph C. (Oceanside CA), Vapor mass flow control system.
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이 특허를 인용한 특허 (11)

Klees,Daniel; Coppa,David; Wesstrom,Ola, Calibration rig.
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Woodman Brian Wilder ; Hall John F., Corrosion analysis system and method.
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Nakada, Akiko; Mori, Yoji; Shiroyama, Naoya; Ito, Minoru, Gas flow monitoring system.
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Lowery, Patrick A.; Thordarson, Petur; Laragione, Robert, Mass flow meter systems and methods.
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Regimand Ali (Raleigh NC), Method and system for transferring calibration data between calibrated measurement instruments.
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Hsieh, Chung-Ju; Liao, Hsi-Wen; Liu, Kai-Hsin; Hou, Tsu-Kuang, Real-time detection mechanism with self-calibrated steps for the hardware baseline to detect the malfunction of liquid vaporization system in AMAT TEOS-based Dxz chamber.
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Hsieh,Chung Ju; Liao,Hsi Wen; Liu,Kai Hsin; Hou,Tsu Kuang, Real-time detection mechanism with self-calibrated steps for the hardware baseline to detect the malfunction of liquid vaporization system in AMAT TEOS-based Dxz chamber.
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Tison,Stuart A.; Lu,Shiliang, System and method for mass flow detection device calibration.
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Mark C. Easton, System for and method of monitoring the flow of semiconductor process gases from a gas delivery system.
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Hahn David T. (Longmont CO), Test apparatus for proving the performance of mass flow meters.
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Nurczyk Mark E. (Eastman WI) Johnson Tedd P. (La Crosse WI), Vav valve control with transducer tolerance compensation.
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관련 콘텐츠

특허 원문 보기

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IPC 상위 출원인

특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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