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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0865939 (1986-05-19) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 8 인용 특허 : 6 |
A conductivity-type sensor, typically for use in a wafer sorting system, for detecting the conductivity-type of semiconductor wafers. In measuring conductivity, a two-contact probe is applied to the semiconductor wafer and any static charge which may have been accumulated on the wafer is initially d
A testing system for a semiconductor wafer having a conductivity-type to be determined and an undesirable surface static charge to be discharged, comprising: means for electrically and mechanically contacting said wafer; sensing means coupled to said contacting means for providing a first signal ind
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