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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0759013 (1985-07-24) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 33 인용 특허 : 7 |
An automated cassette handler for transporting a cassette containing integrated circuit wafers between first and second elevators in a standardized mechanical interface (SMIF) system for integrated circuit processing. The handler is adapted to grip and transport the cassette while positively pushing
An automated cassette handler for transporting integrated circuit wafers held in a wafer cassette within a canopy, said cassette having at least a closed side and an oppositely directed open side, said canopy coupled to a piece of integrated circuit processing equipment, said handler comprising: a s
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