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Self-cleaning valve and cryopump utilizing the same 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • F16K-015/00
  • B08B-009/00
  • B01D-005/00
출원번호 US-0693121 (1985-01-22)
발명자 / 주소
  • Pandorf Robert C. (Newton Highlands MA)
출원인 / 주소
  • Helix Technology Corporation (Waltham MA 02)
인용정보 피인용 횟수 : 11  인용 특허 : 7

초록

The pressure relief valve is debris resistant, self-cleaning, and self-actuating in a cryopump. It includes an o-ring carried by a valve member within a valve cylinder. In opening, the valve member moves away from an end port to open vent ports in the side of the valve cylinder while withdrawing the

대표청구항

A cryopump having a pressure relief valve, the valve comprising: a valve cylinder having at least one inlet port in communication with a cryopump chamber and at least one exhaust port; a valve member within the cylinder having a seal ring for pressing against the inner surface of the cylinder to clo

이 특허에 인용된 특허 (7)

  1. Lace Donald A. (5041 Galway Cir. Huntington Beach CA 92649), Check valve structure.
  2. Bartlett Allen J. (Milford MA) Lewis Robert M. (Hudson MA), Cryopump.
  3. Lessard Philip A. (Acton MA) Bartlett Allen J. (Milford MA), Means for periodic desorption of a cryopump.
  4. Marttinen Jarmo (Hakolahdenkuja 4 a 2 00200 Helsinki 12 FIX), Piston type cleaning valve.
  5. Forth Hans-Joachim (Cologne DEX), Refrigerator cryostat.
  6. Bunn Stuart E. (6412 Carter Ave. Shawnee Mission KS 66203) Owsley Herbert B. (6412 Carter Ave. Shawnee Mission KS 66203), Valve assembly with relief groove.
  7. Cho Nakwon (Knoxville TN), Valve seat cleaning mechanism.

이 특허를 인용한 특허 (11)

  1. Martin, Kevin P.; Timm, Nelson R., Balanced safety relief valve.
  2. Morris Ronald N. ; Ball-DiFazio Doreen J. ; Matte Stephen R. ; Quintanilha Ernest D., Corrosion resistant cryopump.
  3. Wooster Gary ; Skuncik Frank ; Richardson Michael ; Mazzola Richard ; Funsch Douglas ; Ledgard Harry, Cryopump with an exhaust filter.
  4. Sherry, Raymond C., Expansion nozzle with continuous rotating stem.
  5. Bartlett,Allen J.; Ash,Gary S.; Thompson,Brian; Stira,Mark A., Integrated rough/purge/vent (RPV) valve.
  6. Hirose Fuminori (Tokyo JPX), Piston for use in a gas pump.
  7. Bourke Edward L. (Boxboro MA) Cartwright James E. (Bellingham MA), Pressure relief filter and valve and cryopump utilizing the same.
  8. Shimizu Hidehiko,JPX ; Yaguchi Masashi,JPX, Safety relief valve assembly for a fluid displacement apparatus.
  9. Shimizu Hidehiko,JPX ; Yaguchi Masashi,JPX, Safety relief valve assembly for a fluid displacement apparatus.
  10. Castronovo, Charles A.; Peroni, Drew B., Self-cleaning valves for use in vacuum cleaners and other self-cleaning valves.
  11. Kazuhiko Minami JP; Takeshi Imanishi JP; Hiroaki Kayukawa JP; Kazuya Kimura JP; Yuji Kaneshige JP, Variable capacity type compressor with check value.
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