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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0693121 (1985-01-22) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 11 인용 특허 : 7 |
The pressure relief valve is debris resistant, self-cleaning, and self-actuating in a cryopump. It includes an o-ring carried by a valve member within a valve cylinder. In opening, the valve member moves away from an end port to open vent ports in the side of the valve cylinder while withdrawing the
A cryopump having a pressure relief valve, the valve comprising: a valve cylinder having at least one inlet port in communication with a cryopump chamber and at least one exhaust port; a valve member within the cylinder having a seal ring for pressing against the inner surface of the cylinder to clo
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