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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0865251 (1986-05-19) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 143 인용 특허 : 12 |
A self-contained modular processing apparatus is disclosed for processing workpieces, and in particular, silicon wafers. The apparatus is constructed of framed modules which plug into a service facility docking subassembly and interlock therewith to make up a complete modular processing system for w
A modular processing apparatus comprising a chassis having a pair of diagonal axes, a module attached to said chassis for performing at least one operation on a workpiece to be processed, transfer means attached to said chassis for transferring said workpiece from said module to a location remote th
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