[특허]Method and apparatus for arc evaporating large area targets

Method and apparatus for arc evaporating large area targets 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	C23C-014/22
출원번호	US-0640353 (1984-08-13)
발명자 / 주소	Morrison Jr. Charles F. (Boulder CO)
출원인 / 주소	Vac-Tec Systems, Inc. (Boulder CO 02)
인용정보	피인용 횟수 : 41 인용 특허 : 0

초록 ▼

Method and apparatus for arc evaporating a large target having a surface area of at least about 20 square inches, including a device for confining the arc to the target surface and a magnetic field source for establishing at least one magnetic field in a predetermined direction over the target surface to thus direct the cathode spot of the arc in a direction substantially perpendicular to the direction of the magnetic field and accordingly effect substantially uniform evaporation of the target by the arc where the magnetic field may be either pulsed or continuous.

대표청구항 ▼

Arc evaporating method comprising the steps of: providing a target having a surface of material to be evaporated, the surface having an area of at least about 20 square inches; establishing an arc on the target surface for evaporating the target material, the arc being characterized by the presence of charged particles and a cathode spot which tends to randomly migrate over the target surface; and providing magnetic field source means for intermittently turning on and off at least one closed loop magnetic field over said target surface to thereby direct said cathode spot around a closed loop path on said target surface, said closed loop path being defined by said closed loop magnetic field and said magnetic field source means being disposed under said target on the side of the target opposite the side thereof having said surface of material to be evaporated, said intermittent turning on and off of the magnetic field being such that each time the field is turned on the cathode spot is moved along said closed loop path and each time it is turned off, the cathode spot randomly wanders over the target surface to thus effect substantially uniform evaporation of the target by the arc; and confining the arc to the target surface.

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A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
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