[특허]Method and apparatus for uniform charged particle irradiation of a surface

Method and apparatus for uniform charged particle irradiation of a surface 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	G21K-001/093
출원번호	US-0916387 (1986-10-08)
발명자 / 주소	Kashy Edwin (Haslett MI) Sherrill Bradley M. (Okemos MI)
출원인 / 주소	Michigan State University (East Lansing MI 02)
인용정보	피인용 횟수 : 22 인용 특허 : 0

초록 ▼

A method and apparatus which uses combined quadrupole (Qx and Qy) and multipole magnet sets (Mx and My) to focus a charged particle beam from a point source is described. Primarily the multipole magnet sets are octupole magnets. The apparatus is particularly useful for providing a uniform intensity for ion implantation, in cancer therapy and in other fields where uniform charged particle irradiation of a surface is important.

대표청구항 ▼

A magnetic optical beam homogenizing and focussing apparatus for charged particle beams which comprises: (a) holder means which mounts on a source of accelerated charged particles which are scattered outward in a gaussian-like angular distribution from a longitudinal axis from the source, wherein a X and a Y axis are defined perpendicular to the longitudinal axis; (b) beam trnsport magnetic lens sets positioned on the holder means around the longitudinal axis, such that the charged particles are focussed towards and cross the longitudinal axis to define a focal area on the axis wherein the focal area of the beam viewed on the X axis is at a different part of the longitudinal axis than the focal area of the beam viewed on the Y axis; and (c) at least two multipole magnet sets each having at least 6 poles mounted on the holder means around the longitudinal axis at each of the focal areas on the X and Y axis, wherein the multipole magnet sets depending upon the number of poles, make specific changes to the direction of the particles according to the position of the particles within the multipole magnet sets to thereby homogenize and focus the beam.

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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