$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

Method of and apparatus for detecting foreign substances 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01N-021/01
출원번호 US-0792320 (1985-10-28)
우선권정보 JP-0225714 (1984-10-29); JP-0238343 (1984-11-14)
발명자 / 주소
  • Koizumi Mitsuyoshi (Yokohama JPX) Ohshima Yoshimasa (Yokohama JPX) Tanaka Minoru (Yokohama JPX)
출원인 / 주소
  • Hitachi, Ltd. (Tokyo JPX 03)
인용정보 피인용 횟수 : 29  인용 특허 : 0

초록

The present invention provides a method for detecting foreign substances which detects a foreign substance with a first photoelectric conversion element by emphasizing the foreign substance and detects a background on the object with a second photoelectric conversion element by emphasizing the backg

대표청구항

A method for detecting foreign substances on a patterned-background on an object, comprising the steps of: illuminating a surface of the object with at least a linear polarized laser beam at an angle inclined with respect to the surface of the object; detecting the foreign substance with a first pho

이 특허를 인용한 특허 (29)

  1. Kim,Deok Yong; Yang,Duck Sun, Apparatus and method for detecting particles on an object.
  2. Grier, David G.; Cheong, Fook Chiong; Xiao, Ke, Automated real-time particle characterization and three-dimensional velocimetry with holographic video microscopy.
  3. Zhao, Guoheng; Vaez-Iravani, Mehdi; Young, Scott; Bhaskar, Kris, Dark field inspection system with ring illumination.
  4. Arai,Masayuki, Diaphragm apparatus of lens for CCTV camera.
  5. Kawahara, Atsushi, Foreign substance inspection apparatus, exposure apparatus, and method of manufacturing device.
  6. Jingu, Takahiro, Inspection device and image capture element.
  7. Kazama Akira,JPX ; Oshige Takahiko,JPX ; Kawamura Tsutomu,JPX ; Matoba Yuji,JPX, Method and apparatus for detecting surface flaws.
  8. Graef, Michael; Graf, Uwe; Wienecke, Joachim; Hoffmann, Guenter; Franke, Karl-Heinz; Jakob, Lutz, Method for focusing of disk-shaped objects with patterned surfaces during imaging.
  9. Kim, Min-Young; Hwang, Bong-Ha, Method of measuring a three-dimensional shape.
  10. Shortt, David; Biellak, Stephen; Belyaev, Alexander, Methods and systems for inspection of a wafer.
  11. Marxer,Norbert; Gross,Kenneth P.; Altendorfer,Hubert; Kren,George, Process and assembly for non-destructive surface inspections.
  12. Vaez Iravani,Mehdi; Stokowski,Stanley; Zhao,Guoheng, Sample inspection system.
  13. Vaez Iravani,Mehdi; Stokowski,Stanley; Zhao,Guoheng, Sample inspection system.
  14. Vaez Iravani,Mehdi; Stokowski,Stanley; Zhao,Guoheng, Sample inspection system.
  15. Vaez-Iravani, Mehdi; Stokowski, Stanley; Zhao, Guoheng, Sample inspection system.
  16. Vaez-Iravani, Mehdi; Stokowski, Stanley; Zhao, Guoheng, Sample inspection system.
  17. Vaez-Iravani, Mehdi; Stokowski, Stanley; Zhao, Guoheng, Sample inspection system.
  18. Knollenberg Robert G. (Boulder CO), Surface analysis system and method.
  19. Miura Seiya (Utsunomiya JPX) Kohno Michio (Utsunomiya JPX), Surface inspecting device.
  20. Wenzel,Lothar; Nair,Dinesh; Rajagopal,Ram, System and method for analyzing an image.
  21. Wenzel,Lothar; Rajagopal,Ram; Nair,Dinesh, System and method for generating a low discrepancy curve in a region.
  22. Wenzel, Lothar; Rajagopal, Ram; Nair, Dinesh, System and method for generating a low discrepancy curve on an abstract surface.
  23. Nair, Dinesh; Rajagopal, Ram; Wenzel, Lothar, System and method for precise location of a point of interest.
  24. Rajagopal, Ram; Wenzel, Lothar; Nair, Dinesh, System and method for scanning a region using a low discrepancy curve.
  25. Rajagopal, Ram; Wenzel, Lothar; Nair, Dinesh, System and method for scanning a region using a low discrepancy sequence.
  26. Biellak, Steve; Stokowski, Stanley E.; Vaez-Iravani, Mehdi, Systems and methods for a wafer inspection system using multiple angles and multiple wavelength illumination.
  27. Biellak,Steve; Stokowski,Stanley E.; Vaez Iravani,Mehdi, Systems and methods for a wafer inspection system using multiple angles and multiple wavelength illumination.
  28. Grier, David G.; Lee, Sang-Hyuk; Cheong, Fook C., Tracking and characterizing particles with holographic video microscopy.
  29. Grier, David G.; Lee, Sang-Hyuk; Cheong, Fook C., Tracking and characterizing particles with holographic video microscopy.
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로