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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0088145 (1987-08-21) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 6 인용 특허 : 0 |
Undesirable conversion of a silicon source, such as silane, in the freeboard above a fluidized bed of silicon particles in a fluidized bed reactor, can be reduced by cooling the gas within the freeboard. Preferably, the reduction in temperature is achieved by introducing into the freeboard, a stream
A method for reducing the amount of undesirable conversion of silane or other gaseous or vaporous silicon source in the freeboard above a fluidized bed of silicon particles utilized in a fluidized bed process for producing polysilicon, in which said silicon source is thermally decomposed to deposit
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