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Purification of silicon halides 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • C01B-033/107
출원번호 US-0712913 (1985-03-18)
발명자 / 주소
  • Kray William D. (Burnt Hills NY) Razzano John S. (Cohoes NY)
출원인 / 주소
  • General Electric Company (Waterford NY 02)
인용정보 피인용 횟수 : 12  인용 특허 : 0

초록

A method for the selective removal of boron halides and other Lewis acid-type impurities from silicon halides is disclosed. Treatment of contaminated silicon halides with siloxanes, which react with the impurities, allow the distillation of silicon halide which is virtually free from contamination w

대표청구항

A method for purifying silicon halides comprising: (A) adding to a solution of silicon halide contaminated with small amounts of Lewis acid impurities a stoichiometric excess, based on the concentration of the impurites, of an organosiloxane selected from the group consisting of cyclic siloxane mono

이 특허를 인용한 특허 (12)

  1. Tsujioka Shouichi,JPX ; Takahata Mituo,JPX ; Itou Hisakazu,JPX ; Kawashima Tadayuki,JPX ; Sato Keiji,JPX ; Sasaki Hiromi,JPX ; Yamamoto Sunao,JPX, Electrolytic solution for lithium cell and method for producing same.
  2. Auner, Norbert; Bauch, Christian; Holl, Sven; Deltschew, Rumen; Mohsseni, Javad; Lippold, Gerd; Gebel, Thoralf, Kinetically stable chlorinated polysilanes and production thereof.
  3. Bauch, Christian; Holl, Sven; Deltschew, Rumen; Mohsseni, Javad; Lubentsov, Andrey, Method for producing halogenated polysilanes.
  4. Xu,Chongying; Baum,Thomas H.; Borovik,Alexander S.; Wang,Ziyun; Lin,James T. Y.; Battle,Scott; Laxman,Ravi K., Method for removal of impurities in cyclic siloxanes useful as precursors for low dielectric constant thin films.
  5. Auner, Norbert; Bauch, Christian; Holl, Sven; Deltschew, Rumen; Mohsseni, Javad; Lippold, Gerd; Gebel, Thoralf, Method for removing impurities from silicon.
  6. Xu,Chongying; Borovik,Alexander S.; Baum,Thomas H., Porogen material.
  7. Dukhedin-Lalla, Leisl; Shekk, German; de Neufville, John P.; Pikulin, Michael, Process and apparatus for removing Bronsted acid impurities in binary halides.
  8. Ghetti, Gianfranco, Processes for the purification of trichlorosilane or silicon tetrachloride.
  9. Rajoria, Dalbir S., Purification of gaseous inorganic halide.
  10. Chen,Tianniu; Xu,Chongying; Baum,Thomas H.; Laxman,Ravi K.; Borovik,Alexander S., Stabilized cyclosiloxanes for use as CVD precursors for low-dielectric constant thin films.
  11. Xu, Chongying; Roeder, Jeffrey F.; Baum, Thomas H.; Bilodeau, Steven M.; Battle, Scott; Hunks, William; Chen, Tianniu, Super-dry reagent compositions for formation of ultra low k films.
  12. Kishi, Ryota; Ishida, Masahiko; Netsu, Shigeyoshi, Trichlorosilane purification system and method for producing polycrystalline silicon.
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