[특허]Cryopump, and a method for the operation thereof

Cryopump, and a method for the operation thereof 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	B01D-008/00
출원번호	US-0922034 (1986-10-22)
우선권정보	EP-0108529 (1986-06-23)
발명자 / 주소	Bchler Werner (Rsrath DEX) Forth Hans-Joachim (Cologne DEX) Klein Hans-Hermann (Rsrath DEX) Strasser Wilhelm (Bergisch Gladbach DEX)
출원인 / 주소	Leybold-Heraeus GmbH (Cologne DEX 03)
인용정보	피인용 횟수 : 25 인용 특허 : 0

초록 ▼

The invention relates to a cryopump having a casing (1), a gas inlet opening (8) to which a chamber (30) can be attached through a valve (31), a vacuum pump (18) connected through a valve (16) to the casing, a two-stage refrigerator (4) in the casing as cold source, and pumping surfaces (7, 9, 12, 13) which, on both of the refrigeration stages (5, 11) of the refrigerator, are equipped with an electrical heating means (23, 24). To achieve a great shortening of the time required for regeneration and start-up it is proposed that a sensor (41) be provided to monitor the pressure within the pump casing, and that a control unit (28) be present by which the operation of the cryopump can be monitored and controlled on the basis of the signals supplied by the sensor.

대표청구항 ▼

In a cryopump having a casing, a gas inlet to which a vacuum chamber can be connected through a first valve, a vacuum pump connected to said casing through a second valve, a two stage refrigerator as a cold source situated in said casing and having two refrigeration stages with pumping surfaces thereon, and electrical heating means associated with said pumping surfaces, the improvement comprising first sensor means, located in said casing, for producing a first signal responsive to the pressure within said casing and control means, connected to said first sensor means, for controlling the operation of the cryopump in response to said first signal.

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Gaudet,Peter W.; Olsen, legal representative,Carol; Eacobacci,Michael J.; Harvell, legal representative,Olive; Olsen, deceased,Donald A.; Harvell, deceased,John T., Cryopump temperature control of arrays.
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Gaudet Peter W. (Chelmsford MA) Olsen Donald A. (Millis MA) Eacobacci Michael J. (Randolph MA) Harvell John T. (Sudbury MA) Lepofsky Robert J. (Wellesley MA) Roche David E. (Nashua NH) Bender Steven , Electronically controlled cryopump.
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Gaudet, Peter W.; Carol Olsen; Eacobacci, Michael J.; Olsen, Donald A., Electronically controlled cryopump.
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Peter W. Gaudet ; Donald A. Olsen, Electronically controlled cryopump.
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Gaudet, Peter W.; Lepofsky, Robert J.; Weeks, Alan L.; Fortier, Gerald J.; Matt?, Stephen R.; Stein, Martin; Rosner, Steven C., Electronically controlled vacuum pump.
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Gaudet,Peter W.; Lepofsky,Robert J.; Weeks,Alan L.; Fortier,Gerald J.; Matt��,Stephen R.; Stein,Martin; Rosner,Steven C., Electronically controlled vacuum pump.
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Peter W. Gaudet ; Robert J. Lepofsky ; Alan L. Weeks ; Gerald J. Fortier ; Stephen R. Matte ; Martin Stein ; Steven C. Rosner, Electronically controlled vacuum pump.
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Gaudet Peter W. ; Eacobacci Michael J. ; Lepofsky Robert J. ; Roche David E. ; Weeks Alan L. ; Fortier Gerald J. ; Matte Stephen R. ; Stein Martin ; Rosner Steven C., Electronically controlled vacuum pump with control module.
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Okumura Katsuya ; Kuriyama Fumio ; Murai Yukio,JPX ; Tsujimura Manabu,JPX ; Sobukawa Hiroshi,JPX, Evacuation apparatus and evacuation method.
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Amundsen, Paul E.; Buonpane, Maureen; Andrews, Doug; Jacobs, Jordan, Fail-safe cryopump safety purge delay.
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Amundsen, Paul E.; Buonpane, Maureen C.; Andrews, Douglas; Jacobs, Jordan, Integration of automated cryopump safety purge.
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Desbiolles,Jean Pierre; Sogan,Gloria; Munari,S��bastien; Veran,Emmanuelle, Rapidly regenerating cryogenic trap.
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