[특허]Particle counter having electrodes and circuitry mounted on the pane of the orifice

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IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	G01N-027/00
출원번호	US-0859294 (1986-05-05)
발명자 / 주소	Groves Michael R. (Flemington NJ)
출원인 / 주소	Integrated Ionics, Inc. (Dayton NJ 02)
인용정보	피인용 횟수 : 18 인용 특허 : 0

초록 ▼

An improved electronic particle counter is described in which the electrodes and at least part of the signal processing circuitry are integrally formed on the pane in which the orifice is located. The pane is formed from a wafer of sapphire of the grade customarily used in the manufacture of silicon-on-sapphire integrated circuits. A silicon layer is first formed epitaxially on one side of the wafer and integrated circuits are then formed in the silicon layer using conventional photolithographic techniques. Illustratively, the integrated circuits provide the same particle counting and particle sizing functions that are available in separate packages with state-of-the-art particle counters. An electrode is formed on the same side of the wafer as the integrated circuit by converting some of the epitaxial silicon to a conductive polysilicon or by depositing a metallic layer; and the electrode is connected to the signal input lead of the integrated circuit. A second electrode is then formed on the opposite surface of the wafer by deposition of a metallic layer. An orifice is formed in each pane in the sapphire by etching or drilling. Finally the wafer is diced so as to separate the individual panes.

대표청구항 ▼

A particle counter comprising: an inlet chamber, an outlet chamber insulated from said inlet chamber, an orifice interconnecting the inlet and outlet chambers, an electrode in each of the two chambers for establishing an electric current between the two chambers through a fluid that flows through the orifice, and electronic circuitry for sensing changes in said current flow and/or an electronic field associated therewith, characterized in that said orifice is formed in a sheet of insulative material disposed between said first and second chambers, at least a portion of said electronic circuitry is mounted on said sheet of insulative material, and is sealed from said fluid, and is connected to external signal processing circuitry; and at least one of said electrodes is formed on a major surface of said sheet.

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A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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