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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0887369 (1986-07-17) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 33 인용 특허 : 0 |
The refrigerator of a cryopump is positioned within an insulating vacuum and the two stages of the refrigerator are selectively thermally coupled to first and second stage cryopanels. After initial rough pumping by an air ejector, rough pumping is completed during startup by coupling the cold first
A method of starting a cryopump comprising: providing a first stage cryopanel and a second stage cryopanel in a pumping volume, providing a close cycle refrigerator having a first stage and a second, colder stage in an insulating volume, and thermally isolating the refrigerator from the cryopanels a
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