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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0864077 (1986-05-16) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 156 인용 특허 : 0 |
A wafer transfer mechanism used for transferring wafers between cassettes and a boat uses sensors to detect and to measure any offset of the actual center of each wafer being transferred with respect to the expected or precalibrated center of that wafer. An appropriate adjustment is made to effectiv
A wafer transfer mechanism for transferring a wafer from a source to a destination while compensating for any lateral offset of the actual location of the wafer center from the expected location of the wafer center in the source so that the wafer can be placed in the destination with the actual loca
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