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Laser based roundness and diameter gaging system and method of using same 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01B-011/02
출원번호 US-0069874 (1987-07-06)
발명자 / 주소
  • Cohen David A. (Cambridge MA) Papurt David M. (Chestnut Hill MA)
출원인 / 주소
  • Laser Metric Systems, Inc. (Cambridge MA 02)
인용정보 피인용 횟수 : 9  인용 특허 : 4

초록

A device for measuring an object includes a laser beam, a translator for moving the object with respect to the beam, an object reference plane which is the plane perpendicular to the beam that is first entered by the object, a lens system for imaging a light pattern formed in a second plane onto a f

대표청구항

A method of measuring comprising the steps of: providing a laser beam; translating an object to be measured into the beam; imaging onto a first plane a light pattern formed in a second plane, said light pattern including a diffraction pattern caused by interaction of the beam and the object, said se

이 특허에 인용된 특허 (4)

  1. Sumi Masahiko (Yokohama JA), Electron beam exposure apparatus.
  2. Dehait ; Jack T., Half-maximum threshold circuit for optical micrometer.
  3. Petrohilos Harry G. (Yellow Springs OH) Taylor Francis M. (Xenia OH), Light beam shape control in optical measuring apparatus.
  4. Vest ; Jr. Robert C. (Stanton TX), Moldboard plow.

이 특허를 인용한 특허 (9)

  1. Schiff Tod F. ; Southwood Mark E. ; Smith Michael J. ; Harms Michael J., Apparatus and method for gauging a workpiece.
  2. Suematsu, Kenichi, Control unit for generating timing signal for imaging unit in inspection system and method for sending out timing signal to imaging unit.
  3. Matsumoto, Masae; Ito, Tadayuki; Yoshino, Ken-ichiro, Laser scanner and method for detecting mobile object.
  4. Lindberg,Harri, Method and arrangement for measuring the position of a circular object.
  5. Sato, Mitsugu; Takane, Atsushi; Iizumi, Takashi; Otaka, Tadashi; Todokoro, Hideo; Yamaguchi, Satoru; Nimura, Kazutaka, Method of forming a sample image and charged particle beam apparatus.
  6. Sato,Mitsugu; Takane,Atsushi; Iizumi,Takashi; Otaka,Tadashi; Todokoro,Hideo; Yamaguchi,Satoru; Nimura,Kazutaka, Method of forming a sample image and charged particle beam apparatus.
  7. Sato,Mitsugu; Takane,Atsushi; Iizumi,Takashi; Otaka,Tadashi; Todokoro,Hideo; Yamaguchi,Satoru; Nimura,Kazutaka, Method of forming a sample image and charged particle beam apparatus.
  8. Junji Uehara JP; Toshio Kato JP; Kiyoki Sekine JP; Ikuo Kawasumi JP, System and method for estimating location of mobile station.
  9. Southwood, Mark E., Wireframe algorithm and non-contact gauging apparatus.
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