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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0936825 (1986-12-02) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 128 인용 특허 : 4 |
Apparatus for loading and unloading wafers including a support structure having associated with it a predetermined wafer engagement position at which wafers can be engaged by the processing machine, a temporary storage device mounted on the support structure for storing a wafer in position for pick
Apparatus for transporting wafers between a temporary storage device and a processing machine comprising a support structure having associated with it a predetermined wafer engagement position at which wafers having flat surfaces can be engaged by said processing machine, a temporary storage device
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