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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0932182 (1986-11-18) |
우선권정보 | JP-0066761 (1986-03-25) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 24 인용 특허 : 9 |
A semiconductor processing system which includes: a first semiconductor wafer cassette for housing semiconductor wafers; a first transfer pod for enclosing the first cassette airtightly, the first pod having a box-like pod body with an open bottom and a bottom plate detachably attached to the pod bo
In a semiconductor processing system which includes: a first semiconductor wafer cassette for housing semiconductor wafers; a first transfer pod for enclosing the first cassette airtightly, said first pod having a box-like pod body with an open bottom and a bottom plate detachably attached to the po
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