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Semiconductor processing system

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • C23C-015/00
출원번호 US-0932182 (1986-11-18)
우선권정보 JP-0066761 (1986-03-25)
발명자 / 주소
  • Harada Hiroshi (Tokyo JPX) Iwasawa Yoshiyuki (Tokyo JPX) Ishida Tsutomu (Tokyo JPX) Kobayashi Shintaro (Tokyo JPX)
출원인 / 주소
  • Shimizu Construction Co., Ltd. (Tokyo JPX 03)
인용정보 피인용 횟수 : 24  인용 특허 : 9

초록

A semiconductor processing system which includes: a first semiconductor wafer cassette for housing semiconductor wafers; a first transfer pod for enclosing the first cassette airtightly, the first pod having a box-like pod body with an open bottom and a bottom plate detachably attached to the pod bo

대표청구항

In a semiconductor processing system which includes: a first semiconductor wafer cassette for housing semiconductor wafers; a first transfer pod for enclosing the first cassette airtightly, said first pod having a box-like pod body with an open bottom and a bottom plate detachably attached to the po

이 특허에 인용된 특허 (9)

  1. Tateishi Hideki (Yokohama JPX) Kamei Tsuneaki (Kanagawa JPX) Abe Katsuo (Yokosuka JPX) Kobayashi Shigeru (Kawasaki JPX) Aiuchi Susumu (Yokohama JPX) Nakatsukasa Masashi (Tama JPX) Takahashi Nobuyuki , Apparatus for performing continuous treatment in vacuum.
  2. Bonora Anthony C. (Menlo Park CA) O\Sullivan Andrew W. (Gilroy CA), Long arm manipulator for standard mechanical interface apparatus.
  3. Mack Alfred (Poughkeepsie NY) O\Neill Brian C. (Millbrook NY) Penzetta Fred L. (Wappingers Falls NY), Low shock transmissive antechamber seal mechanisms for vacuum chamber type semi-conductor wafer electron beam writing ap.
  4. Ohtsuji Masaru (Kobe JPX) Itoh Tomonori (Kobe JPX) Honda Takashi (Kakogawa JPX) Ando Shinobu (Toyohashi JPX) Matsui Kazumi (Aichi JPX), Method for positioning seamed balls.
  5. Tullis Barclay J. (Palo Alto CA) Parikh Mihir (San Jose CA) Thrasher David L. (Menlo Park CA) Johnston Mark E. (Saratoga CA), Particle-free dockable interface for integrated circuit processing.
  6. Gerlach Robert L. (Minnetonka MN) Seibel David D. (Lakeville MN) Miller Mark C. (Chanhassen MN), Sample transport system.
  7. Maney George A. (Palo Alto CA) O\Sullivan Andrew W. (Gilroy CA) Faraco W. George (Saratoga CA), Sealed standard interface apparatus.
  8. Millis Edwin G. (Dallas TX) Bimer Thomas C. (Albuquerque NM) Lewis Alton D. (Garland TX), Semiconductor slice cassette transport unit.
  9. Bonora Anthony C. (Menlo Park CA), Short arm manipulator for standard mechanical interface apparatus.

이 특허를 인용한 특허 (24)

  1. Kisakibaru,Toshirou; Kouchiyama,Shigeru; Okada,Makoto; Ueno,Kouta, Air-curtain forming apparatus for wafer hermetic container in semiconductor-fabrication equipment of minienvironment system.
  2. Kurata, Shunsuke, Alignment apparatus.
  3. Cho Guey-Shyung,TWX ; Chen Yi-Jen,TWX, Apparatus for guiding the removal of a processing tube from a semiconductor furnace.
  4. Kogura Masahisa (Fukuoka JPX) Yoshida Haruo (Fukuoka JPX) Tanaka Minoru (Fukuoka JPX), Apparatus for packaging semiconductor devices.
  5. Conboy,Michael R.; Shedd,Danny C.; Coss, Jr.,Elfido, Automated material handling system for a manufacturing facility divided into separate fabrication areas.
  6. Matsushima Keiichi,JPX, Cassette transfer mechanism.
  7. Hofmeister Christopher A., Coaxial drive elevator.
  8. Bachrach, Robert Z., Compact apparatus and method for storing and loading semiconductor wafer carriers.
  9. Marohl Dan, Compact apparatus and method for storing and loading semiconductor wafer carriers.
  10. Murata Masanao (Ise JPX) Yamashita Teppei (Ise JPX) Tanaka Tsuyoshi (Ise JPX) Morita Teruya (Ise JPX) Oyobe Hiroyuki (Ise JPX), Conveying system.
  11. Pelissier Laurent (Grenoble FRX), Device for carrying out sequential thermal treatments under a vacuum.
  12. Bachrach Robert Z., Factory automation apparatus and method for handling, moving and storing semiconductor wafer carriers.
  13. Mills, William C.; Rabe, Richard A., Glove box for water pit applications.
  14. Walde Michael (Rodenbach DEX) Zeidler Peter (Hanau DEX) Domroese Dirk (Bispingen-Behringen DEX), Installation for charging and discharging substrates out of a vacuum tank.
  15. Gonzalez, Pablo, Load lock solar cell transfer system.
  16. Pruet, James D.; Couch, David G., Method and system for manufacturing a photocathode.
  17. Yano Kensaku (Kanagawa JPX) Furukawa Akihiko (Tokyo JPX) Miyagawa Ryohei (Kanagawa JPX) Iida Yoshinori (Tokyo JPX), Photo chemical reaction apparatus.
  18. Uehara Akira,JPX ; Minato Mitsuaki,JPX ; Kawamura Yoshitsugu,JPX, Plasma processing apparatus.
  19. Bonora, Anthony C.; Fosnight, William J.; Martin, Raymond S., Port door removal and wafer handling robotic system.
  20. Selyutin Leonid ; Zhao Jun, Self aligning lift mechanism.
  21. Koshti, Sushant S.; Hruzek, Dean C.; Majumdar, Ayan; Menk, John C.; Lee, Helder T.; Patil, Sangram; Rajaram, Sanjay; Baumgarten, Douglas; Merry, Nir, Substrate processing systems, apparatus, and methods with factory interface environmental controls.
  22. Walker Delroy (Springdale MD) Zihmer Joseph (Frederick MD) Furches Danny (Columbia MD) Garmer Christopher J. (Rockville MD), System for transferring articles between controlled environments.
  23. Burck, Ross H.; Marks, Ernest E.; Moore, Scott E., Vacuum operated wafer transfer apparatus.
  24. Iwabuchi Katsuhiko (Sagamihara JPX) Takanabe Eiichirou (Kanagawa-Ken JPX), Wafer processing apparatus.
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