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Cryosorption surface for a cryopump 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B01D-008/00
출원번호 US-0146000 (1988-01-20)
발명자 / 주소
  • Flegal Christopher M. (Santa Rosa CA) Porter John R. (Napa CA)
출원인 / 주소
  • Varian Associates, Inc. (Palo Alto CA 02)
인용정보 피인용 횟수 : 11  인용 특허 : 9

초록

A two-stage cryosorption pump has a first stage at a higher temperature and a second stage at a lower temperature. Sorption surfaces of reticulated vitreous carbon formed on the second stage have high rigidity and exceptionally high void volume.

대표청구항

A cryogenic pump for removing gaseous species from a chamber, comprising: a first stage having an inlet opening at one end thereof for gaseous communication with the chamber and a generally cylindrical pumping surface maintained at a first temperature for removing a portion of the gaseous species, a

이 특허에 인용된 특허 (9)

  1. McFarlin David J. (Ellington CT), Cryoadsorption pumps having panels with zeolite plates.
  2. Welch Kimo M. (Mountain View CA), Cryogenic pump with radiation shield.
  3. Lombardini Lapo (Florence ITX) Bardi Gianluca (Florence ITX), Cryogenic pump with refrigerator with the geometry of the shields, suitable for achieving a high efficiency and an exten.
  4. Welch Kimo M. (Mountain View CA), Cryogenic pumping apparatus with replaceable pumping surface elements.
  5. Bchler Werner (Rosrath - Hoffnungsthal DEX) Heisig Rolf (Weilerswist DEX), Cryopump.
  6. Bachler ; Werner ; Forth ; Hans-Joachim ; Frank ; Rudiger, Cryopump having improved heat radiation shielding.
  7. Eacobacci, Michael J.; Olsen, Donald A., Cryopump with rapid cooldown and increased pressure.
  8. Kadi Frank J. (New Tripoli PA), Economical and thermally efficient cryopump panel and panel array.
  9. Bchler Werner (Rsrath DEX) Forth Hans-Joachim (Cologne DEX) Klein Hans-Hermann (Rsrath DEX), Method of starting and/or regenerating a cryopump and a cryopump therefor.

이 특허를 인용한 특허 (11)

  1. Wang, Francis; Schmalhurst, Lisa B.; Sunstrom, Joseph E.; Chi, Ignacio; Findell, Steven P., Carbon monofluoride impregnated current collector including a 3D framework.
  2. Oikawa, Ken, Cryopump and vacuum pumping method.
  3. Longsworth, Ralph, Cryopump drain and vent.
  4. Wang, Francis; Sunstrom, Joseph E., Electrode including a 3D framework formed of fluorinated carbon.
  5. Stautner, Ernst Wolfgang; Michael, Joseph Darryl, Gas reservoir and a method to supply gas to plasma tubes.
  6. Bartlett,Allen J.; Nordborg,John; Thompson,Brian, High conductance cryopump for type III gas pumping.
  7. Wang, Francis; Schmalhurst, Lisa B.; Sunstrom, IV, Joseph E.; Chi, Ignacio; Findell, Steven P., Method of making a carbon monofluoride impregnated current collector including a 3D framework.
  8. Longsworth,Ralph C., Panels for pulse tube cryopump.
  9. Stautner, Ernst Wolfgang; Michael, Joseph Darryl, Systems and methods for regulating pressure of a filled-in gas.
  10. Moraja Marco,ITX ; Viale Luca,ITX, Temperature-responsive mobile shielding device between a getter pump and a turbo pump mutually connected in line.
  11. Anantharaman, Surendra Babu; Yang, Wen-Cheng; Kao, Chung-En; Lu, Victor Y.; Chin, Wei, Ultra high vacuum cryogenic pumping apparatus with nanostructure material.
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