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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0146000 (1988-01-20) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 11 인용 특허 : 9 |
A two-stage cryosorption pump has a first stage at a higher temperature and a second stage at a lower temperature. Sorption surfaces of reticulated vitreous carbon formed on the second stage have high rigidity and exceptionally high void volume.
A cryogenic pump for removing gaseous species from a chamber, comprising: a first stage having an inlet opening at one end thereof for gaseous communication with the chamber and a generally cylindrical pumping surface maintained at a first temperature for removing a portion of the gaseous species, a
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