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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0110253 (1987-10-20) |
우선권정보 | JP-0037654 (1987-02-20) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 178 인용 특허 : 11 |
A vacuum processing apparatus comprising a load-lock chamber, a vacuum transferring chamber and a processing chamber respectively having evacuating systems for evacuating the respective chambers. The load-lock chamber has a first isolation valve for isolating and opening communication of the load-lo
A vacuum processing apparatus including a load-lock chamber, a vacuum transferring chamber and a processing chamber, respectively, having gas evacuating means, said load-lock chamber adapted to receive a plurality of substrates from outside of the apparatus, and feed therefrom the substrates into sa
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