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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0018993 (1987-02-25) |
우선권정보 | JP-0052058 (1986-03-10); JP-0065117 (1986-03-24); JP-0065118 (1986-03-24); JP-0053388 (1986-04-09) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 63 인용 특허 : 4 |
A transfer system for transferring a SMIF podTMin a clean room, in which the pod is adapted to contain a wafer cassette. The transfer system includes: at least one pair of SMIF armsTM, the arms disposed adjacent to a semiconductor processing apparatus for transferring wafers, carried in the wafer ca
A transfer system for transferring a pod in a clean room, in which the pod is adapted to contain a wafer cassette, comprising: at least one pair of ARMs, disposed adjacent to a semiconductor processing apparatus for transferring wafers, loaded in the wafer cassette, into and out of the semiconductor
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