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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0061935 (1987-06-11) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 40 인용 특허 : 1 |
A method and system for monitoring the process of a plurality of batches of semiconductor wafers or memory disks through a series of processing operations. Each batch is placed in a carrier in which it is transported to the locations where the processing operations are performed. Each carrier is pro
A method for monitoring the progress of a plurality of batches of disks through a multiplicity of operations at several locations comprising the steps of: inserting each batch of disks into a carrier constructed and arranged for supporting the disks in a parallel, axially arranged spaced array; prov
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