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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0931432 (1986-11-14) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 5 인용 특허 : 7 |
A vibration isolator particularly suited to isolating a closed cycle refrigerator in a cryopump includes a bellows having o-rings made of vibration damping material secured between the corragations of the bellows. A soft damping material maintains a low spring constant and also dampens all frequenci
A cryopump adapted to be mounted to a chamber to be evacuated, the cryopump comprising: a vacuum vessel; a refrigerator having a cold finger extending through the vacuum vessel and connected to cryopanels at which gas is condensed; a motor for driving the refrigerator; and, vibration isolated pressu
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