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Pressure reducer for pure gases 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • F16K-031/126
  • F16K-051/00
출원번호 US-0193076 (1988-05-12)
우선권정보 FR-0006815 (1987-05-15)
발명자 / 주소
  • Coffre Eric (Trappes FRX) Gary Daniel (Versailles FRX) di Giulio Christophe (Neuilly-sur-Seine FRX) Loiseau Grard (Bois D\Arcy FRX) Torelli Grard (Vanves FRX)
출원인 / 주소
  • L\Air Liquide (Paris FRX 03)
인용정보 피인용 횟수 : 8  인용 특허 : 6

초록

A pressure reducer, especially adapted for the supply of very pure gas in the electronics industry, which comprises a final stage having an inlet, pressure-reducing means and a low-pressure outlet. A filter having a filtration threshold lower than a micron is interposed between the pressure-reducing

대표청구항

A pressure reducer comprising an axial tubular part defining an axial inlet, an annular outlet concentric with the inlet, a bellows surrounding the axial tubular part and defining an annular volume communicating with the outlet, an inlet valve biased closed within the tubular part, and a filter disp

이 특허에 인용된 특허 (6)

  1. Frahm Carl E. (1428 Oak Meadow Rd. Arcadia CA 91006), Device for filtering beverages.
  2. Cibulka Anthony B. (Poynette WI), Fail safe system for a patient triggered respirator.
  3. Major Emery (1210 Brickyard Cove Rd. Point Richmond CA 94801), Fluid control apparatus.
  4. Bird Forrest M. (212 NW. Cerritos Palm Springs CA 92262), Respirator and method.
  5. Bird Forrest M. (212 NW. Cerritos Palm Springs CA 92262), Ventilator and method.
  6. Levy Donald (River Vale NJ) Rusz Tibor (Pittsfield MA), Volume ventilator.

이 특허를 인용한 특허 (8)

  1. Wang,Luping; Baum,Thomas H.; Xu,Chongying, Delivery systems for efficient vaporization of precursor source material.
  2. Wang Luping ; Tom Glenn M., Fluid storage and dispensing system.
  3. Wang Luping ; Tom Glenn M., Fluid storage and dispensing system.
  4. Luping Wang ; Glenn M. Tom ; James A Dietz ; Steven M. Lurcott ; Steven J. Hultquist, Fluid storage and dispensing system featuring externally adjustable regulator assembly for high flow dispensing.
  5. Luping Wang ; Glenn M. Tom ; James A. Dietz ; Steven M. Lurcott ; Steven J. Hultquist, Fluid storage and dispensing system featuring externally adjustable regulator assembly for high flow dispensing.
  6. Luping Wang ; Glenn M. Tom, Gas storage and dispensing system comprising regulator interiorly disposed in fluid containment vessel and adjustable in situ therein.
  7. Arno, Jose; Wang, Luping; Tom, Glenn M., Non-plasma in-situ cleaning of processing chambers using static flow methods.
  8. Olander, W. Karl; Donatucci, Matthew B.; Wang, Luping; Wodjenski, Michael J., Pressure-based gas delivery system and method for reducing risks associated with storage and delivery of high pressure gases.
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