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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0201595 (1988-06-02) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 21 인용 특허 : 3 |
A sputter enhanced ion implantation process is disclosed that uses to advantage the ion beam sputtering phenomenon to deposit layers of coatings on surfaces of interest simultaneously with ion implanting that surface, and that without the use of a separate evaporation system. The process can be appl
Sputter enhanced ion implantation process comprising: (a) providing a fixture formed of a first material and designed to hold and present a workpiece to an ion beam; (b) placing said workpiece in operative association t said fixture; (c) exposing both said workpiece and said fixture to said ion beam
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