[특허]Displacement transducer in integrated optics

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Displacement transducer in integrated optics 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	G01B-009/02
출원번호	US-0174827 (1988-03-29)
우선권정보	FR-0004877 (1987-04-07)
발명자 / 주소	Gidon Pierre (Echirolles FRX) Lizet Jacques (Grenoble FRX) Valette Serge (Grenoble FRX)
출원인 / 주소	Commissariat a l\Energie Atomique (Paris FRX 07)
인용정보	피인용 횟수 : 6 인용 특허 : 3

초록 ▼

A displacement transducer in integrated optics comprises a light source emitting a main monochromatic beam, a lens for collimating the main beam, a splitting plate for forming a measuring beam and a reference beam, a phase displacer for introducing a phase displacement of p2/Si3N4/SiO2 optical guide, the lens, plate and phase displacer being formed by local etching of the surface layer of the guide, the second mirror and the splitting mirror being formed by total etching of the guide.

대표청구항 ▼

Transducer in integrated optics used for measuring the distance covered by a moving object and for determining the displacement direction of said moving object (34) having: a light source (14) emitting a main monochromatic light beam (16), means for collimating (18) the main beam, first means for splitting (22, 64) the main collimated beam (24) to form a measuring beam and a reference beam (26), a first mirror (32) integral with the moving object (34) for reflecting the measuring beam (24) onto the first splitting means, phase displacement means (28) for introducing a constant phase displacement, differing from pe formed on the substrate and in which the different light beams propagate, the collimating means (18), first splitting means (22, 64) and phase displacement means (28) then being respectively formed by an appropriate local modification of the effective index of the light guide and the first mirror (32) and second splitting means (36) are respectively formed by an etched flank of the light guide extending up to the substrate.

이 특허에 인용된 특허 (3)

Ulbers Gerd (VS-Weilersbach DEX), Device for measuring small distances.
상세보기
Ulbers Gerd (Weilersbach DEX) Hutter Karl (Muhlhausen DEX), Device for measuring small distances.
상세보기
Drenckhan Jrgen (Greifswald DDX) Trinks Roland (Querfurt DDX), Method of and arrangement for performing optical interference measurements.
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이 특허를 인용한 특허 (6)

Labeye Pierre,FRX ; Pouteau Patrick,FRX, Integrated optical filter.
상세보기
Kevorkian Antoine,FRX ; Duport-Schanen Isabelle,FRX ; Benech Pierre,FRX, Interferometric measuring device forming a spacial interference pattern.
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Chapman,Mark Adrian Vincent; Lee,William Ernest; May,Martin Jonathan, Laser interferometer for repeatable mounting on the wall of a vacuum chamber.
상세보기
Hirae Sadao (Kyoto JPX) Matsubara Hideaki (Kyoto JPX) Kouno Motohiro (Kyoto JPX) Sakai Takamasa (Kyoto JPX), Non-destructive measuring sensor for semiconductor wafer and method of manufacturing the same.
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Steenblik, Richard A.; Hurt, Mark J., Planar optical waveguide.
상세보기
Bhagavatula Venkata A. (Big Flats NY), Planar optical waveguides with planar optical elements.
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관련 콘텐츠

특허 원문 보기

KIPRIS 원문보기

IPC 상위 출원인

특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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