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Vacuum debubbler machine 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B05C-003/09
출원번호 US-0252426 (1988-09-30)
발명자 / 주소
  • Quillen Paul (Warsaw IN)
출원인 / 주소
  • Union Tool Corporation (Warsaw IN 02)
인용정보 피인용 횟수 : 1  인용 특허 : 7

초록

A machine for removing bubbles from coated flat substrates, namely PC boards. The machine includes one or more conveyors for transporting the boards into an enclosure and a vacuum platen positioned above the conveyor which, when lowered into contact with the conveyor encloses the board in a plenum.

대표청구항

A machine for removing bubbles from coated flat substrates, said machine comprising a frame defining an enclosure, conveyor means having upper and lower runs carried by said frame for transporting a flat substrate into said enclosure, a platen positioned adjacent said conveyor means, said platen inc

이 특허에 인용된 특허 (7)

  1. Shelley, Pierre, Apparatus and method for forming a thin film of coating material on a substrate having a vacuum applied to the edge thereof.
  2. Hazano Shigeki (Yokohama CA JPX) Shibagaki Masahiro (San Jose CA) Jyo Hidetaka (Sagamihara JPX) Sensui Reiichiro (Sagamihara JPX) Iwami Munenori (Yokohama JPX) Suzuki Noboru (Chigasaki JPX), Apparatus for producing semiconductor devices.
  3. Bernath Oskar (Umiken CHX), Apparatus for the vacuum impregnation of boards or panels of porous material.
  4. Wills James C. (Los Altos CA) Spenser Douglas S. (Santa Clara CA), Apparatus for treating semiconductor wafers.
  5. Bringmann Udo (Halstenbek DEX) Drews Klaus (Halstenbek DEX) Schn Detlef (Halstenbek DEX), Device for coating a substrate by means of plasma-CVD or cathode sputtering.
  6. Aigo Seiichiro (3-15-13 Negishi ; Daito-ku ; Tokyo JPX), Device for developing treatment of semiconductor materials.
  7. Dimock Jack A. (Santa Barbara CA) Woestenburg Dirk P. (Summerland CA), Wafer processing machine with evacuated wafer transporting and storage system.

이 특허를 인용한 특허 (1)

  1. David Charles Trumbore ; David B. Ollett ; Frank Joseph Macdonald, Vacuum treatment of asphalt coating.
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