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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0276082 (1988-11-23) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 30 인용 특허 : 4 |
Apparatus comprising a bakeable high vacuum system using cryopumps is disclosed. Auxiliary cooling means in thermal contact with the primary pumping stage of the cryopump remove heat from the cryopump, whereby the walls of the cryopump may be heated during operation of the cryopump, such that the cr
Apparatus comprising an evacuable chamber and at least one cryopump for removing gas from the chamber, the cryopump comprising a mounting flange and a primary pumping stage, the primary pumping stage further comprising a primary condensor array, characterized in that the apparatus further comprises:
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