최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0091188 (1987-08-31) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 2 인용 특허 : 0 |
In semiconductor vacuum processing, it is desirable to minimize the material handling mechanisms that must be located in the evacuated process chamber. To accomplish this, a mechanism has been designed that locates the necessary power elements such as motors (12-16) outside the chamber (32). Power i
A separable drive coupling, comprising: a drive shaft terminating in a first coupling portion; a driven shaft originating in a second coupling portion; said first coupling portion having protruding teeth engagable with matching protruding teeth on said second coupling portion, in order that said dri
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.