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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0290584 (1988-12-27) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 33 인용 특허 : 7 |
Silicon of high purity is made by decomposing silane in a fluidized bed reactor. To obtain good process economics, two modes of operation are used. In a first mode, the reactor is operated under high productivity conditions which also result in co-production of silicon dust or fines. The dust on the
A process comprising the step of intimately contacting: (a) a bed of particles of silicon maintained: (i) in a vertically disposed reaction zone, and (ii) at a reaction temperature higher than the thermal decomposition temperature of silane with; (b) silane contained in a first and second decomposit
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