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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0173707 (1988-03-25) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 48 인용 특허 : 9 |
A laser pattern inspection and/or writing system which writes or inspects a pattern on a target on a stage, by raster scanning the target pixels. An autofocus keeps the scanning laser beam in focus on the target. The autofocus system includes an objective lens assembly through which a first laser be
An autofocus system for a pattern inspection or writing system, comprising; an objective lens assembly including a fixed long focus lens and a movable objective lens for focusing a first laser beam on the surface of a target for pattern inspection or writing; an autofocus laser fixed to the objectiv
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