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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0097592 (1987-09-15) |
발명자 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 95 인용 특허 : 4 |
A multiple electrode plasma reactor power circuit that utilizes a power splitting device, such as a center-tapped coil, to deliver balanced power to a plurality of powered electrodes. Balanced plasmas are thereby created between powered electrodes and grounded electrodes. In a preferred embodiment a
A multiple electrode plasma reactor power circuit comprising: an RF generator; a matching network being electrically connected to said RF generator; at least one reaction chamber having a total of at least two powered electrodes disposed within said chambers and at least one grounded surface dispose
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