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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0269496 (1988-11-10) |
우선권정보 | JP-0154339 (1985-07-15); JP-0094652 (1986-04-25); JP-0094653 (1986-04-25) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 11 인용 특허 : 4 |
A method and an apparatus for rinsing materials or articles to remove deposits attached onto the surfaces of those materials or articles and humidity from the them by vapor of rinsing solvent which is evaporated by heating and filled in a rinsing chamber. In the method or the apparatus when it is de
A method of vapor-rinsing semiconductor wafers comprising the steps of: superheating and evaporating a rinsing solvent located in a rinsing chamber so as to fill an inside of said rinsing chamber with a steam of said rinsing solvent, said steam rinsing from a bottom of said chamber toward a top of s
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