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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0222328 (1988-07-20) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 98 인용 특허 : 13 |
An apparatus and method for moving a plurality of wafer-like articles such as semiconductor substrates back and forth between a carrier and a processing chamber maintained in an interior atmosphere isolated from that of the carrier. A translating arm pivotal about its center with a wafer engaging va
Apparatus for exchanging wafer-like articles between a position in a first plane and a processing location in a second plane perpendicular to said first plane with a minimum of motion of the apparatus and where at least part of the movement of each of the articles occurs simultaneously, said apparat
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