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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0368923 (1989-06-19) |
우선권정보 | JP-0085298 (1987-05-30) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 5 인용 특허 : 4 |
An apparatus for the heat treatment of a substrate comprises a heat treating plate for heating or cooling a substrate, three holes for one substrate provided on the surface of the heat treating plate whose position is selected to suitably place the substrate, and three balls respectively in the thre
An apparatus for the heat treatment of a substrate for heating or cooling the substrate, comprising: a heat treating plate having either heating or cooling means, a main surface and a plurality of through-holes arranged spaced apart from each other by a prescribed internal; three concave portions pr
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