최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0333182 (1989-04-04) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 6 인용 특허 : 21 |
Automatic focusing of an interference microscope is accomplished by directly sensing an interference pattern produced by a white light source with an auxiliary point detector. A beamsplitter intercepts part of the interference beam and directs it to the point detector. A narrow band filter filters l
A method of automatically focusing an interference microscope onto a sample surface, comprising the steps of: (a) rapidly moving an objective of the interference microscope to a memory lock position between the sample surface and a fringe window; (b) moving the objective away from the sample surface
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.