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Apparatus and method for automatically focusing an interference microscope

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • G01J-001/20
  • G02B-027/42
출원번호 US-0333182 (1989-04-04)
발명자 / 주소
  • Cohen Donald K. (Tucson AZ) Ayres James D. (Tucson AZ) Cochran Eugene R. (Tucson AZ)
출원인 / 주소
  • Wyko Corporation (Tucson AZ 02)
인용정보 피인용 횟수 : 6  인용 특허 : 21

초록

Automatic focusing of an interference microscope is accomplished by directly sensing an interference pattern produced by a white light source with an auxiliary point detector. A beamsplitter intercepts part of the interference beam and directs it to the point detector. A narrow band filter filters l

대표청구항

A method of automatically focusing an interference microscope onto a sample surface, comprising the steps of: (a) rapidly moving an objective of the interference microscope to a memory lock position between the sample surface and a fringe window; (b) moving the objective away from the sample surface

이 특허에 인용된 특허 (21)

  1. Westell William E. (Weston MA), Automatic alignment system.
  2. Kusaka Yosuke (Yokohama JPX), Automatic focus control apparatus.
  3. Watanabe Tomohide (Yokohama JPX), Automatic focusing apparatus for a semiconductor pattern inspection system.
  4. Nohda Masao (Yokosuka JPX), Automatic focusing device in a stereoscopic microscope.
  5. Schlichting Johannes (Jena DDX) Halwass Kerstin (Jena DDX), Automatic optical focusing device.
  6. Wilwerding Dennis J. (Littleton CO), Continuous focus proportional controller.
  7. Nobuaki Kitajima (Tokyo JPX) Shinichi Nishimura (Tokyo JPX) Susumu Takahashi (Tokyo JPX), Control for operation microscopes.
  8. Une Atsunobu (Kanagawa JPX) Iki Makoto (Kanagawa JPX) Takeuchi Nobuyuki (Kanagawa JPX) Deguchi Kimiyoshi (Kanagawa JPX), Diffraction grating position adjuster using a grating and a reflector.
  9. Baba Takashi (Atsugi JPX) Niwa Yukichi (Atsugi JPX) Yoshii Minoru (Tokyo JPX) Watanabe Takako (Atsugi JPX), Focus detecting apparatus independent of object image contrast.
  10. Ludman Jacques E. (98 Old Lowell Road Westford MA 01886), Interferometer optical system.
  11. Maydan Dan (Los Altos Hills CA) Somekh Sasson (Redwood City CA) Kaczorowski Edward M. (Santa Clara CA), Laser interferometer system and method for monitoring and controlling IC processing.
  12. Grund J. Evan (San Jose CA), Method and apparatus for automatic optical focusing on an optically discernible feature on an object.
  13. Langlais Richard A. (Littleton CO) Ogawa Francis T. (Lakewood CO) Wilwerding Dennis J. (Littleton CO), Method and apparatus for determining focus direction and amount.
  14. Zanoni Carl A. (Middletown CT), Method and apparatus for interference fringe center sensing.
  15. Yagi Shigeaki (Nagaoka JPX) Furusawa Hirofumi (Nagaoka JPX), Method and apparatus for measuring the floating amount of the magnetic head.
  16. Davidson Mark (Palo Alto CA), Method and apparatus of using a two beam interference microscope for inspection of integrated circuits and the like.
  17. Chaban Richard J. (Ventura CA), Microscope autofocus system.
  18. Hutchin Richard A. (56 Framingham Rd. Marlboro MA 01752), Microscope for producing high resolution images without precision optics.
  19. Kawasaki Masami (Hachiouji JPX), Microscope provided with automatic focusing device having memory means.
  20. Podvin T. Charles (Poway CA), Microscopic detection of membrane surface defects through interference patterns.
  21. Wyant James C. (Tucson AZ) Prettyjohns Keith N. (Tucson AZ), Optical profiler using improved phase shifting interferometry.

이 특허를 인용한 특허 (6)

  1. Rembe,Christian, Apparatus for optical measurement of an object.
  2. Deck Leslie L. ; Chakmakjian Stephen H., Method and apparatus for automatically and simultaneously determining best focus and orientation of objects to be measu.
  3. Jun, Chung-Sam; Kim, Kye-Weon; Yang, Yu-Sin; Kim, Hyo-Hoo, Method for measuring step difference in a semiconductor device and apparatus for performing the same.
  4. Hsu, Wei-Yao; Lee, Chien-Shing; Chen, Nien-Tsu; Chen, Po-Jui; Ho, Cheng-Fang; Su, Fang-Hsuan; Chen, Fong-Zhi; Chen, Chien-Jen, Microscope automatic focusing device and method thereof.
  5. Duis Wilhelm,DEX, Operating microscope.
  6. Wei Jay ; Hellmuth Thomas, Optical coherence tomography assisted surgical apparatus.
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