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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0425957 (1989-10-24) |
우선권정보 | JP-0267058 (1988-10-25) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 63 인용 특허 : 2 |
There is here disclosed a method for removing nitrous oxide (N2O), carbon dioxide (CO2) and dinitrogen difluoride (N2F2) from a nitrogen trifluoride gas. The present invention is directed to a method for purifying a nitrogen trifluoride gas which comprises the steps of thermally treating, at a tempe
A method for purifying a nitrogen trifluoride gas which comprises the steps of thermally treating, at a temperature of 250°to 700°C., a natural zeolite selected from the group consisting of analcime, clinoptilolite, mordenite, ferrierite, phillipsite, chabazite, erionite and laumontite; forming a pa
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