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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0267077 (1988-11-04) |
우선권정보 | DE-3833232 (1988-09-30) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 9 인용 특허 : 1 |
An evaporator chamber has an entry end with a conduit connected to the output of a mass flow regulator, an exit end connected to a vacuum, and a wall surface extending therebetween. A body having capillary action is disposed in the chamber and has one end connected to the conduit and a free surface
Apparatus for the evaporation of monomers which are liquid at room temperature and have a low vapor pressure in the production of thin coatings containing silicon and oxygen by chemical vapor deposition in a vacuum on substrates, said apparatus comprising: a mass flow regulator for adjusting the flo
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