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Deposition of diamond films 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B05D-003/06
  • B01J-003/06
출원번호 US-0309521 (1989-02-10)
발명자 / 주소
  • Hacker Nigel P. (Morgan Hill CA) Tyndall
  • III George W. (Los Gatos CA)
출원인 / 주소
  • International Business Machines Corporation (Armonk NY 02)
인용정보 피인용 횟수 : 18  인용 특허 : 5

초록

Diamond films are deposited at substrates below temperatures of 400°C. by chemical vapor deposition using a high powered pulsed laser and a vapor which is an aliphatic carboxylic acid or an aromatic carboxylic anhydride.

대표청구항 ▼

A process for depositing a diamond film on a substrate said process comprising the steps of: (a) confining in an enclosed space which includes a substrate at a temperature below 400°C., the vapor of a compound which is aliphatic carboxylic acid or an aromatic carboxylic anhydride; and (b) irradiatin

이 특허에 인용된 특허 (5)

  1. Mirtich Michael J. (North Olmsted OH) Sovey James S. (Strongsville OH) Banks Bruce A. (Olmsted Township ; Cuyahoga County OH), Deposition of diamondlike carbon films.
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  2. Aisenberg Sol (Natick MA), Film deposition.
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  3. Kamo Mutsukazu (Tsuchiura JPX) Matsumoto Seiichiro (Sakura JPX) Sato Yoichiro (Sakura JPX) Setaka Nobuo (Nagareyama JPX), Method for synthesizing diamond.
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  4. Tanaka Masahiro (Yokohama JPX) Azuma Kazufumi (Hiratsuka JPX) Nate Kazuo (Machida JPX) Nakatani Mitsuo (Yokohama JPX), Process for forming an organic thin film.
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  5. Hirose Yoichi (Kitakatsushika JPX), Process for synthesis of diamond by CVD.
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이 특허를 인용한 특허 (18)

  1. Ederyd Stefan S. O.,SEX ; Soderberg E. K. Staffen,SEX ; Fischer Udo K. R.,SEX, Cemented carbide body for rock drilling mineral cutting and highway engineering.
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  2. Townley, Charles O., Diamond coated joint implant.
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  3. Mistry Pravin ; Turchan Manuel C., Fabrication of diamond and diamond-like carbon coatings.
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  4. Brondum, Klaus; Welty, Richard P.; Jonte, Patrick B.; Richmond, Douglas S.; Thomas, Kurt, Faucet.
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  5. Brondum, Klaus; Welty, Richard P.; Jonte, Patrick B.; Richmond, Douglas S., Faucet component with coating.
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  6. Brondum, Klaus; Welty, Richard P.; Jonte, Patrick B.; Richmond, Douglas S., Faucet component with coating.
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  7. Brondum, Klaus; Welty, Richard P.; Jonte, Patrick B.; Richmond, Douglas S., Faucet component with coating.
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  8. Brondum, Klaus, Faucet with wear-resistant valve component.
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  9. Haight,Richard A.; Longo,Peter P.; Wagner,Alfred, Method and apparatus for performing laser CVD.
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  10. Turchan Manuel C. (Northville MI) Mistry Pravin (Shelby Township MI), Method of treating and coating substrates.
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  11. Yu Bing-Kun (Salt Lake City UT), Preparation of diamond and diamond-like thin films.
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  12. Clem, Paul G.; Jeon, Noo-Li; Mrksich, Milan; Nuzzo, Ralph G.; Payne, David A.; Whitesides, George M.; Xia, Younan, Self-assembled monolayer directed patterning of surfaces.
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  13. Freitas, Jr., Robert A., Simple tool for positional diamond mechanosynthesis, and its method of manufacture.
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  14. Turchan Manuel C. (Northville MI) Mistry Pravin (Shelby Township MI), Substrate coating techniques, including fabricating materials on a surface of a substrate.
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  15. Xu, Wen-Qing; Eissler, Elgin E.; Liu, Chao; Tanner, Charles D.; Kraisinger, Charles J.; Aghajanian, Michael, Substrate including a diamond layer and a composite layer of diamond and silicon carbide, and, optionally, silicon.
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  16. Miyoshi, Hidenori; Ishikawa, Kenji; Takigawa, Yukio; Nakata, Yoshihiro; Tateishi, Hideki, Substrate processing method and apparatus fabrication process of a semiconductor device.
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  17. Brondum, Klaus; Welty, Richard P.; Richmond, Douglas S.; Jonte, Patrick B.; Thomas, Kurt, Valve component for faucet.
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  18. Brondum, Klaus; Welty, Richard P.; Richmond, Douglas S.; Jonte, Patrick B.; Thomas, Kurt, Valve component for faucet.
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