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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0133533 (1987-12-16) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 25 인용 특허 : 7 |
A device which measures both the thickness of a thin film and the concentration of selected elements within the thin film. An X-ray source is utilized to irradiate the thin film sample and two detectors, an energy dispersive detector and a wavelength dispersive detector, provide the film thickness a
An apparatus for the measurement of the thickness of a thin film disposed upon a substrate and the quantitative determination of certain elements within said thin film comprising: a housing formed from at least one wall defining an enclosed space; a window disposed within a wall of said housing and
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