최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
---|---|
국제특허분류(IPC7판) |
|
출원번호 | US-0327281 (1989-03-22) |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
인용정보 | 피인용 횟수 : 35 인용 특허 : 2 |
A system for automatically filling a bubbler, or other vapor delivery system from a reservoir, is disclosed in which the conduit system is purged and pressurized with inert gas, using a unique refill reservoir, level sensing and valving system.
A refill reservoir for use in a system for storing and providing a chemical reagent highly reactive with oxygen and moisture to the bubbler system used in connection with silicon wafer treatment furnaces and the like comprising in combination a clean fabricated from a material inert to the reagent a
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.