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특허 상세정보

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Wafer boat

특허상세정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판) B05C-013/02   
미국특허분류(USC) 211/41 ; 118/500 ; 118/728 ; 211/13
출원번호 US-0235602 (1988-08-24)
발명자 / 주소
출원인 / 주소
인용정보 피인용 횟수 : 36  인용 특허 : 3
초록
▼

Wafer supporting method and apparatus having at least two wafer supporting slots for each edge-wise oriented wafer in a plurality of coaxial edge-wise aligned wafers. The two wafer locations are essentially at the bottom and at an upper “side”i.e., slightly below the widest diameter dimension of and edge-wise wafer with a pair of spaced apart upper slots having the same loose fitting cross-sectional shape as the lower slot. The supported wafer at the upper location touches the slot support at one slot wall only. A cross sectional shape of the slots for e...

대표
청구항
▼

Apparatus of a slotted wafer boat for holding a plurality of coaxially aligned essentially circular wafers, comprising: means defining an essentially semicircular wafer receiving saddle in a wafer boat, said boat further characterized by: a wafer slot the shape of essentially a semicircular arc that matches the wafers to be loaded, with the arc\s size selected to be slightly larger in diameter than the diameter of the wafers to be held in an upright edge-wise position in said boat, with each of said wafers being in essentially continuous leaning support ...

이 특허에 인용된 특허 (3)

  1. Fleigle David H. (R.R. 2 ; Box 120 Moweaqua IL 62550) Fleigle Phyllis A. (R.R. 2 ; Box 120 Moweaqua IL 62550). Knocked-down easily-assembled canning-lid-sterilizing rack. USP1985034505393.
  2. Johnson ; Jr. Christian F. (6557 Patricia Plano TX 75023). Silicon wafer processing boat carrier slot plunge cutter. USP1988044738573.
  3. Lee Eui-Wan (Eggertsville NY). Wafer boat. USP1982104355974.

이 특허를 인용한 특허 피인용횟수: 36

  1. Buitron, Gerardo; Luu, Thuan; Okamoto, Barry. Apparatus for combining or separating disk pairs simultaneously. USP2010097789615.
  2. Buitron,Gerardo; Luu,Thuan; Okamoto,Barry. Apparatus for combining or separating disk pairs simultaneously. USP2008057367773.
  3. Crofton, Walter; Wypych, Andrew. Apparatus for simultaneous two-disk scrubbing and washing. USP2012058172954.
  4. Crofton,Walter; Newman,David; Ta,Nghia. Automated merge nest for pairs of magnetic storage disks. USP2006087083376.
  5. Abas, Emmanuel Chua. Bowing semiconductor wafers. USP20180910068787.
  6. Iwamoto, Yoshio; Kurokawa, Hiroyuki. Carrier for cleaning silicon wafers. USP2003026520191.
  7. Buitron, Gerardo; Crofton, Walter; Newman, David. Cassette for holding disks of different diameters. USP2010077748532.
  8. Senn Anthony. Compliant process cassette. USP2000036041938.
  9. Hugg Joshua S.. Container for storing and transporting fragile objects. USP1998075782356.
  10. Luu, Thuan; Crofton, Walter; Liu, Bill; Spaulding, David; Kim, Kwang Kon. Disk burnishing device. USP2014098821218.
  11. Kenichi Nakabeppu JP. Drying apparatus and method. USP2002036357138.
  12. Grow,John; Kim,Kwang Kon; Palmer,Dan. Dual disk transport mechanism processing two disks tilted toward each other. USP2007017165308.
  13. Kim,Kwang Kon; Clasara,Ramon; Peabody,Charles F.. Information-storage media with dissimilar outer diameter and/or inner diameter chamfer designs on two sides. USP2007027180709.
  14. Bottos, Jim; Mancuso, Tom; Kashkoush, Ismail. Low profile wafer carrier. USP2005036871657.
  15. Luu, Thuan; Crofton, Walter; Liu, Bill; Spaulding, David; Kim, Kwang Kon. Magnetic disk with uniform lubricant thickness distribution. USP2010037682653.
  16. Allen, Joseph. Manufacturing single-sided storage media. USP2011027882616.
  17. Buitron,Gerardo; Crofton,Walter; Hachtmann,Bruce; Newman,David. Method for manufacturing single-sided hard memory disks. USP2007017168153.
  18. Kim,Kwang Kon; Clasara,Ramon. Method for manufacturing single-sided sputtered magnetic recording disks. USP2007097267841.
  19. Kim, Kwang Kon; Clasara, Ramon. Method for producing single-sided sputtered magnetic recording disks. USP2010117838067.
  20. Valeri,Thomas M.. Method for servo pattern application on single-side processed disks in a merged state. USP2006047027246.
  21. Buitron,Gerardo; Crofton,Walter; Okamoto,Barry; Sagen,Lynnette A.; Ta,Nghia. Method for simultaneous two-disk texturing. USP2006087083502.
  22. Buitron,Gerardo; Cheng,Peter; Crofton,Walter; Kim,Kwang Kon; Maida,William; Newman,David. Method of lubricating multiple magnetic storage disks in close proximity. USP2006057052739.
  23. Buitron, Gerardo. Method of merging two disks concentrically without gap between disks. USP2009107600359.
  24. Buitron,Gerardo; Gapay,Clarence; Grow,John; Hachtmann,Bruce; Kim,Kwang Kon; Nguyen,Huan; O'Hare,Tom. Method of simultaneous two-disk processing of single-sided magnetic recording disks. USP2008017322098.
  25. Senn Anthony. Method of using a compliant process cassette. USP2000116153533.
  26. Jonas, Stefan; Redmann, Lutz. Mounting device for disk-shaped substrates such as solar wafers. USP2012118307997.
  27. Cheng, Lin. Reticle box transport cart. USP2009107604306.
  28. Abas, Emmanuel Chua; Pondoyo, Carl Anthony Pangan; Pares, Emil Alcaraz; Castillo, Arnold Villamor; Sandoval, Vergil Rodriguez. Semiconductor wafer carriers. USP20180710020213.
  29. Yukihiro Hyobu JP; Yasunori Oka JP. Sheet support container. USP2002116474474.
  30. Kim,Kwang Kon; Clasara,Ramon. Single-sided sputtered magnetic recording disks. USP2006087083871.
  31. Hooshang Jahani ; Scott R. Bruner ; Peter F. Smith. Substrate fixturing device. USP2002016340090.
  32. Steven E. Reder ; Ynhi T. Le. System to reduce particulate contamination. USP2002036355577.
  33. Jacobson, Nathan Ellis; Kyllo, Mark LeMarr; Starcke, Steven F.. Tray for retaining disks. USP2003066571964.
  34. Kobayashi, Takeshi. Vertical boat for heat treatment and heat treatment method of semiconductor wafer using thereof. USP2013068469703.
  35. Buitron, Gerardo; Grow, John. W-patterned tools for transporting/handling pairs of disks. USP2009127628895.
  36. Jun, Pil-Kwon; Park, Sang-oh; Ko, Yong-Kyun; Yi, Hun-Jung. Wafer guides for processing semiconductor substrates. USP2005116959823.

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