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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0452449 (1989-12-18) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 38 인용 특허 : 12 |
A dual track substrate handling and processing system includes an entrance load lock station, an exit load lock station and a plurality of substrate processing stations, all positioned above a transfer vacuum chamber. The load lock station and each processing station are configured to hold two verti
A system for handling and processing thin workpieces, said workpieces being vertically oriented during said handling and processing, said system comprising: a transfer chamber; an entrance load lock station; a plurality of processing stations; an exit load lock station, each of said stations being p
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