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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0253911 (1988-10-06) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 45 인용 특허 : 9 |
A wafer stripping, cleaning and etching apparatus includes a bowl, a table in the bowl carrying cassette of wafers, and a spray post with multiple fluid passages and ports directing fluid spray against the wafers.
A semiconductor wafer processing apparatus comprising: a body defining first, second and third adjacent ports through which fluid may flow from the body, with said second port being positioned generally between the first and third ports, the ports being positioned so that fluid flow from the first a
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