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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0395976 (1989-08-21) |
우선권정보 | DE-3831526 (1988-09-16) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 13 인용 특허 : 7 |
In modern electron beam writers, the subject to be structured is simultaneously processed with a plurality of probes or electron beams. The apparatus of the present invention, instead of sub-dividing a single electron beam into a plurality of probes, utilizes a beam generator having a plurality of s
A lithographic apparatus for structuring a subject with a plurality of particle probes, said apparatus comprising a beam generator composed of a plurality of sources for particle beams arranged in a line, and a first telecentric unit for focussing the particle beams to form particle probes onto the
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