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Cryogenic pump operated with a two-stage refrigerator 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)
  • B01D-008/00
출원번호 US-0485639 (1990-02-27)
우선권정보 EP-0103453 (1989-02-28)
발명자 / 주소
  • Haefner Hans U. (Cologne DEX)
출원인 / 주소
  • Leybold Aktiengesellschaft (DEX 03)
인용정보 피인용 횟수 : 8  인용 특허 : 6

초록

A cryogenic pump of the type operated with a two-stage refrigerator. A first refrigerator stage includes a plurality of first-stage pump surfaces, and a second refrigerator stage includes a plurality of second stage pump surfaces. The second-stage pump surfaces include a plurality of plates arranged

대표청구항

A crypogenic pump of the type operated with a two-stage refrigerator, said pump comprising the following: a first refrigerator stage having pump surfaces including an enclosure with an upper opening, said first stage further including a plurality of baffle strips adjacent said opening; a second refr

이 특허에 인용된 특허 (6)

  1. Pfeiffer Loren N. (Harding Township ; Morris County NJ) West Kenneth W. (Mendham Township ; Morris County NJ), Apparatus comprising a high-vacuum chamber.
  2. Welch Kimo M. (Mountain View CA), Cryogenic pumping apparatus with replaceable pumping surface elements.
  3. Winkler Otto (Frstentum LIX), Cryopump.
  4. Bartlett, Allen J., Cryopump with improved second stage array.
  5. Lessard Philip A. (Acton MA) Andeen Bruce R. (Acton MA), Cryopump with quicker adsorption.
  6. Eacobacci, Michael J.; Olsen, Donald A., Cryopump with rapid cooldown and increased pressure.

이 특허를 인용한 특허 (8)

  1. Tammera, Robert F., Apparatus and system for swing adsorption processes related thereto.
  2. Kohler, Marcel; Vogt, Herbert; Frick, Urs, Cryogenic pump with a device for preventing the memory effect.
  3. Bartlett,Allen J.; Nordborg,John; Thompson,Brian, High conductance cryopump for type III gas pumping.
  4. Chang, Ramsay; Sjostrom, Sharon, Method and apparatus for removing vapor phase contaminants from a flue gas stream.
  5. Chang, Ramsay; Sjostrom, Sharon, Method and apparatus for removing vapor phase contaminants from a flue gas stream.
  6. Chang, Ramsay; Sjostrom, Sharon, Method and apparatus for renewable mercury sorption.
  7. Burk, Roland; Watzlawski, Markus; Zwittig, Eberhard, Sorber heat exchanger wall and sorber heat exchanger.
  8. Anantharaman, Surendra Babu; Yang, Wen-Cheng; Kao, Chung-En; Lu, Victor Y.; Chin, Wei, Ultra high vacuum cryogenic pumping apparatus with nanostructure material.
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